Synopsys, Inc. 很高兴地宣布 Sentaurus vO-2018.06-SP2,这是一套 TCAD 工具套件,用于模拟半导体器件的制造、操作和可靠性。

Sentaurus 是一套 TCAD 工具,可模拟半导体器件的制造、操作和可靠性。Sentaurus 模拟器使用物理模型来表示晶圆制造步骤和设备操作,从而允许探索和优化新的半导体设备。Sentaurus TCAD 工具可以无缝工作,并且可以组合成完整的 2-D 和 3-D 仿真流程。Sentaurus TCAD 支持硅和化合物半导体技术,涵盖广泛的半导体应用。

什么是 TCAD 工具,TCAD 工具的各个部分是什么,如何使用它,我们可以用 TCAD 工具做什么,这些是本系列第一节讨论的基本点。我们刚刚展示了 Sentaurus工作台并安排它的各个部分,如 Sprocess、Sdevice 和 Svisuals 等。

Sentaurus 工艺是一种先进的 1D、2D 和 3D 工艺仿真器,可开发并优化硅半导体工艺技术。这是新一代的工艺仿真器,可应对当前以及未来工艺技术面临的挑战。Sentaurus 工艺配备了一套先进的工艺模型,包括经过设备供应商提供的数据校准的默认参数,可提供对从纳米级 CMOS 到大尺寸高压器件的广泛技术进行预测性仿真的模拟环境。Sentaurus 工艺是 TCAD 内核产品综合套件中的一部分,TCAD 系列产品可用于多维工艺、器件和系统仿真,内含功能强大的用户界面。

优势

  • 利用基于物理原理的全面工艺建模能力,对广泛的技术进行快速的原型设计、开发和优化
  • 通过优化器件的热应力和机械应力同时考虑到工艺过程中的应力变化过程,用以提高器件的性能
  • 通过自洽、多维的建模能力,提供对高级物理现象深入了解的能力

Product: Synopsys Sentaurus
Version: vO-2018.06-SP2
Supported Architectures: x86_64
Website Home Page : http://www.synopsys.com
Languages Supported: english
System Requirements: Linux *
Size: 2.5 Gb

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